เป้าหมายเซอร์โคเนียมเป็นวัสดุที่ใช้ในกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ซึ่งมักจะใช้ทำฟิล์มบาง เซอร์โคเนียม (สัญลักษณ์เคมี ZR) เป็นโลหะทรานซิชันที่มีความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยมจุดหลอมเหลวสูงและคุณสมบัติเชิงกลที่ดี เป้าหมายเซอร์โคเนียมใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์การเคลือบด้วยแสงการเคลือบตกแต่งและฟิล์มที่ใช้งานได้
จุดหลอมเหลว: 1852 องศา
จุดเดือด: 4400 องศา
ความหนาแน่น: 6.5g/cm³
ข้อมูลจำเพาะ: เป้าหมายแบบแบน/รอบเป้าหมาย
มาตรฐานการใช้งาน: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
พื้นที่แอปพลิเคชันหลัก
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: เป้าหมายเซอร์โคเนียมใช้ในการสะสมฟิล์มคงที่ไดอิเล็กทริกสูง (High-K) เช่นเซอร์โคเนียมออกไซด์ (ZRO₂) สำหรับชั้นไดอิเล็กตริกเกตทรานซิสเตอร์
2. การเคลือบด้วยแสง: ฟิล์มเซอร์โคเนียมมีดัชนีการหักเหของแสงสูงและคุณสมบัติทางแสงที่ดีและมักใช้ในฟิล์มต่อต้านการสะท้อนหรือฟิล์มสะท้อนแสงสำหรับอุปกรณ์และเลนส์
3. การเคลือบตกแต่ง: เป้าหมายเซอร์โคเนียมสามารถใช้ในการเตรียมการเคลือบตกแต่งที่ทนต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนเช่นนาฬิกาเครื่องประดับ ฯลฯ
4. ฟิล์มบางฟังก์ชั่น: ฟิล์มบางเซอร์โคเนียมสามารถใช้ในการเตรียมเซลล์เชื้อเพลิงเซ็นเซอร์และตัวเร่งปฏิกิริยา
ลักษณะของเป้าหมายเซอร์โคเนียม
ความบริสุทธิ์สูง: ความบริสุทธิ์ของเป้าหมายเซอร์โคเนียมมักจะต้องเข้าถึงมากกว่า 99.9% เพื่อให้แน่ใจว่าประสิทธิภาพของภาพยนตร์
ความหนาแน่นสูง: เป้าหมายต้องการความหนาแน่นสูงเพื่อลดการสร้างอนุภาคในระหว่างการสปัตเตอร์
ความสม่ำเสมอที่ดี: องค์ประกอบทางเคมีและโครงสร้างจุลภาคของเป้าหมายจำเป็นต้องมีความสม่ำเสมอเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสอดคล้องของฟิล์ม
กระบวนการเตรียมการ
การเตรียมเป้าหมายเซอร์โคเนียมมักจะมีขั้นตอนต่อไปนี้:
1. การหลอมละลาย: เตรียมแท่งเพทายที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยการหลอมรวมอาร์คสูญญากาศหรือการละลายของลำแสงอิเล็กตรอน
2. การตีและการหมุน: ปรับปรุงโครงสร้างจุลภาคและคุณสมบัติเชิงกลของวัสดุผ่านการประมวลผลที่ร้อน
3. การตัดเฉือน: ประมวลผลวัสดุเป็นรูปร่างและขนาดที่เหมาะสมสำหรับอุปกรณ์สปัตเตอร์
4. การทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าพื้นผิวเป้าหมายสะอาดเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อน
ป้ายกำกับยอดนิยม: เป้าหมายเซอร์โคเนียมการเคลือบสปัตเตอร์, จีนสปัตเตอร์การเคลือบเซอร์โคเนียมเป้าหมายผู้ผลิตซัพพลายเออร์, โรงงาน, วัสดุแทนทาลัมสำหรับชิ้นส่วนการบินและอวกาศ, แท่งแทนทาลัมสำหรับการวิจัยทางวิทยาศาสตร์, ก้านลวดแทนทาลัม, ทังสเตนลวดสำหรับผู้จัดจำหน่าย, ซื้อแผ่นแทนทาลัมเพื่อต้านทานการกัดกร่อน, ทังสเตนลวดเป็นเมตร
